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新型台式扫描电镜是什么
来源:时间:2019-03-28
新型台式扫描电镜是什么
不同于传统大型扫描电镜,台式扫描电镜是一种全新的设计,它保留了大型扫描电镜较高的放大倍数和大景深,同时一改已往电镜体积大、安装环境苛刻、操作复杂等缺点,体积小巧,可以在普通试验台上安装使用;操作简便,而且能实现数码相机一样的自动操作,使得没有电镜知识和使用经验的人员也可以获得满意的电镜图像;另外还可以安装能谱仪,实现元素分析;并且它的价格仅为传统电镜的几分之一,逼近高端光学显微镜的价格。
台式电镜主要由真空系统、电子枪、电磁透镜和探测器等组成。真空系统一般采用机械泵与分子泵联动,电子枪一般为钨灯丝、CeB6(六硼化铈),也有采用场发射枪的台式电镜。其中钨灯丝的价格便宜但使用寿命较短,CeB6灯丝寿命长、亮度高,但价格也随之而升。探测器主要为背散射电子探测器或二次电子探测器。目前市场上的台式电镜主要为台式扫描电镜。
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